基于各种原因,许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功,其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动结构陀螺仪,是一款新的相当便宜的设备,目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪,以及将这些功能集成在一个单芯片中可助力特定的汽车应用---因为它们的精度要求可能会非常高。基于MEMS的气囊传感器自上世纪90年代起在几乎所有汽车中已经普遍取代了机械式碰撞传感器。图2显示了一个简化的MEMS加速度计示例,同碰撞传感器中使用的类似。一个带有一定质量块的悬臂梁连接到一个或多个固定点以作为弹簧。当传感器沿梁的轴线加速时,该梁会移动一段距离,这段距离可以通过梁的“牙齿”与外部固定导体之间的电容变化来测量。
许多商用和工业用喷墨打印机使用基于MEMS技术的打印机喷头,保持这些墨滴并在需要时精确地放下这些墨滴——这一技术被称为按需投放(DoD)。墨滴放置在横跨压电材料(比如 lead zirconateTItanate,)组成的元件中,通过施加的电压来进行挤压。这增加了打印头墨水室的压力,通过施力形成一个非常小量(相对压缩)的墨水,并从喷嘴中喷出。