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MEMS技术及其微型传感器

2013-6-1 21:39:23 4957

0 很有用的！ 1 MEMS技术及其微型传感器.zip 516.27 KB , 下载次数: 133
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zhang3791729 · 2013-6-5 12:14:19 沙发额，这种好贴竟然没人顶~

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abchys · 2013-9-26 11:00:50 板凳很好的资料，顶一下。

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songbtq · 2013-9-30 16:15:43 4^# 好贴，先下载再回复

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crazyli · 2013-10-2 16:58:07 5^# 好贴需要顶起来

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许凯 · 2013-10-6 21:38:58 6^# 好帖子顶一下学习了~

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我是花生 · 2014-1-3 22:17:41 7^# 好东西哦，O(∩_∩)O哈哈~

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冯工 · 2014-1-5 11:30:05 8^# 好好好好好好好！

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小海 · 2014-1-5 16:52:54 9^# 先留着后面肯定有用

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Joe Li · 2015-9-13 17:00:36 10^# thanks for your sharing!!!

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pretttyhot · 2016-3-1 16:07:57 11^# 1

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zhouriddick · 2016-4-16 05:35:58 12^# 好贴，先下载再回复

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himxz · 2016-4-17 23:30:57 13^# 好东西i，最近正在研究相关滤波算法

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赵春会 · 2016-7-1 15:12:22 14^# 的身份第三方的所发生的发

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:01:04 15^# MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:04:37 16^# 在单个芯片上可以集成任何东西，像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等，因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用，将成为影响未来生活的重要技术之一。

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:14:12 17^# 微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:21:37 18^# 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:27:01 19^# 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。对微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究三类。

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sinap_zhj · 2016-7-2 10:29:04 20^# 微电子机械系统(MEMS)的理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传感器、微执行器等的设计原理和控制研究等

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