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本书深入浅出,没有晦涩难懂的公式和高深的理论,有的是丰富的彩色配图,可以作为一本案头小品来看,看完本书之后对制造半导体芯片的工艺等有个基本全面的了解。 跟着本书就好比参观了一遍制造工厂和生产线,往往很难有机会实地去参观的,所以通过本书是一个全面了解的机会。 本书的涉及的流行话题,背景知识,实际应用,理论结合实践,丰富了全文的内容,看起来更轻松。 先从目录整体来浏览下全书内容 其中第一章 漫游半导体工厂就好像带领读者实地参观了一遍半导体工厂,相信很少有人能有机会去实地参观半导体工厂的。 其中工厂是核心,无尘是其最重要的特点。 可以看到办公楼一楼一般是展厅,接待,会议,厂长办公室。 二楼三楼是技术相关部门,四楼是食堂等,这样设计也可以看到和其功能相关。 厂房,一般一楼是前道工序相关,二楼是后道工序相关。 这里有点好奇,二楼的保健保健室配备保健医生的目的是什么? 难道是很多工艺会接触危险化学品,为了今次情况处理吗? 配套设施,通过这里才知道氮气一般是现场生产的,还有就是配套超纯水供给很重要,之前就有了解过超纯水清洗是很重要的一道工艺。 书中还提到了占用空间比较大的居然是停车场。 然后介绍了扩扩散工艺,提到了无尘室是半导体工厂的心脏。 接着介绍了晶圆检验工艺 接着介绍了封装和检验工艺 属于后道工序制造 然后介绍了人事结构,个人感觉环境工程部和生产,设备技术部,是有别于一般制造工厂的。 1.4介绍的工厂选址,重点条件水,电,高速公路这几个因素也比较好理解, 文中给出了具体的相关数据,以前没有具体的概念,看到这些数据还是会有更深的了解。 对于电力一般有备用电源,并且考虑备用电源不够时的电力分配。 应对电力重点需求,1.5小节甚至专门一节介绍,防停电措施。针对秒钟级别停电使用电容,分钟级别使用UPS,更长时间使用发电机。 1.6小节介绍了各种药液气体的供给和排放 常见排水处理措施是酸碱中和,生物处理和沉淀 排气处理是洗涤,吸附。 最后这里的逸闻趣事相当于花絮,当作小料看看也比较有意思 |
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