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1个回答
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在标准逻辑工艺中,有时候会见到Native MOS管,什么叫做Native MOS管呢?
Native MOS实际就是阈值电压接近为零的管子,实际上就是耗尽管。但是为什么叫做Native MOS呢? 原来是最早的MOS制程中由于氧化层带有电荷,很难做很干净的氧化层,所以做出来的NMOS,氧化层本身带有正电荷,导致未加正电压就导通了。 当今这种阈值电压接近0的NMOS可不是通过氧化层中带电来完成的,而是通过调整沟道掺杂来完成的。但是结果一样,于是还是叫Native MOS管。 这种Native MOS管一般只会用来做电容,用它做电容的好处在于,以NMOS为例,gate电压只要大于阈值电压,那么电容都等于Gate电容。而标准NMOS,当gate电压小于阈值电压的时候,NMOS电容等于gate电容和沟道耗尽层电容的串联,电容值会变小很多。所以在130nm制程之后,我们会经常看到Native NMOS/PMOS作为电容使用。 |
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