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[问答]

请问怎样在二氧化硅层上生长单晶硅?

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我对工艺不是很懂,在氧化层上直接淀积的话是不是非晶硅?如果要单晶硅的话应该怎么做?(有个思路也可以)
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2011-6-23 11:06:36   评论 分享淘帖 邀请回答
9个回答
1.与焦炭在电炉中高温,生成粗硅
2.粗硅和Cl2反应,生成SiCl4
3.对SiCl4进行精馏,得纯SiCl4
4.将纯SiCl4与H2在1200°C进行反应,得纯Si
2011-6-23 14:34:35 评论

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2011-9-6 13:46:56 评论

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2012-2-24 19:41:51 评论

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通H2并使二氧化硅升温到1080摄氏度,此时会在二氧化硅表面产生还原反应,形成单晶硅,然后降温到850-1020摄氏度后再通入气体硅源并保持H2流通,可以在表面的单晶硅上淀积更多的单晶硅。。。。
2012-9-11 19:36:31 评论

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学习学习               
2013-5-23 09:25:05 评论

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2017-8-10 20:00:51 评论

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集成电路封装测试材料设备采购销售信息群:108784692
2017-8-18 16:58:10 评论

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要买台长晶炉,设备商估计会告诉你
2020-8-4 17:07:07 评论

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