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离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面,当离子进入表面,将与固体中的原子碰撞,将其挤进内部,并在其射程前后和侧面激发出一个尾迹。这些撞离原子再与其它原子碰撞,后者再继续下去,大约在10-11s内,材料中将建立一个有数百个间隙原子和空位的区域。
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2个回答
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目录
离子注入技术的原理
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离子注入技术的特点
离子注入技术的优点
离子注入技术的应用
离子注入技术的未来展望
离子注入技术面临的挑战
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