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使用等离子清洗技术清洗晶圆去除晶圆表面的有机污染物等杂质,但是同时在等离子产生过程中电极会出现金属离子析出,如果金属离子附着在晶圆表面也会对晶圆造成损伤,如果在使用等离子清洗技术清洗晶圆如何规避电极产生的金属离子?
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1个回答
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不太懂你说的这一行
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