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InGaAs与EMMI的应用雷同，但比EMMI多了哪些优点呢？

2018-8-22 09:37:41 6248 InGaAs

0 InGaAs与EMMI的应用雷同，但比EMMI多了哪些优点呢？为此宜特将为您解答--》 InGaAs与EMMI的应用雷同，但比 EMMI多了以下优点侦测缺陷(Defect)时间比 EMMI 短 5 ~ 10 倍。可侦测到微小电流及先进制程的缺陷(Defect)。可侦测到较轻微的 Metal Bridge。针对芯片背面(Back-side)的定位分析，红外光对硅基板穿透率较高。 InGaAs相较EMMI，更适用在检测「先进制程组件的缺陷」。原因在于尺寸小的组件，相对操作电压也随之降低，使得热载子所激发出的光波长变得较长，而InGaAs就非常适合用于侦测先进制程产品的亮点、热点(Hot Spot)定位。 2
2018-8-22 09:37:41　　评论淘帖0 举报相关推荐 • Thermal EMMI(InSb)可以侦测哪些呢？ 9217 • Thermal EMMI热点测试 11062 • 微光显微镜EMMI/OBIRCH的原理及应用 12244 • EMMI-InGaAs 与 OBIRCH：一分钟教你看懂两款失效定位设备原理与应用 128 • 微光显微镜EMMI/OBIRCH的工作原理及应用范围 9822 • QFN封装的芯片，做EMMI可以做吗？ 5712 • 亮点侦测EMMI微光显微镜 3591 • 微光显微镜 (EMMI)的应用范围？ 6777 • 半导体失效分析的指路明灯-EMMI 1541 • 讲一下失效分析中最常用的辅助实验手段：亮点分析（EMMI） 9949