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InGaAs与EMMI的应用雷同,但比EMMI多了哪些优点呢?
为此宜特将为您解答--》 InGaAs与EMMI的应用雷同,但比 EMMI多了以下优点
InGaAs相较EMMI,更适用在检测「先进制程组件的缺陷」。原因在于尺寸小的组件,相对操作电压也随之降低,使得热载子所激发出的光波长变得较长,而InGaAs就非常适合用于侦测先进制程产品的亮点、热点(Hot Spot)定位。 |
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