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圆片RTA退货步后出现SiN薄膜破裂现象

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问答对人有帮助，内容完整，我也想知道答案 0 圆片RTA退货步后出现SiN薄膜破裂现象，600C低温作业，请问会是RTA退火步温度飘了而导致该现象，还是SiN膜本身应力存在问题？哪位大神有经验，求解哪一种可能性更高？或者有什么其他的原因 0
2018-6-21 21:32:09　　评论淘帖0 邀请回答您可以邀请以下用户，快速回答问题 × 14054 该类别下有 2 个回答。邀请回答日耳曼战车该类别下有 1 个回答。邀请回答 007liuhong 该类别下有 1 个回答。邀请回答一刀先508 该类别下有 1 个回答。邀请回答新手上路10 该类别下有 1 个回答。邀请回答鹏程万里该类别下有 1 个回答。邀请回答 434224591 该类别下有 1 个回答。邀请回答西北西南该类别下有 1 个回答。邀请回答 zzk12356 该类别下有 1 个回答。邀请回答 h1654155813.9986 该类别下有 1 个回答。邀请回答追梦误歧途该类别下有 1 个回答。邀请回答野原龙叮当该类别下有 1 个回答。邀请回答 ALLEN 该类别下有 1 个回答。邀请回答 piziwsy 该类别下有 1 个回答。邀请回答刘小松该类别下有 1 个回答。邀请回答 kissthesnow 该类别下有 1 个回答。邀请回答清水河该类别下有 1 个回答。邀请回答 h1654155745.0949 该类别下有 1 个回答。邀请回答湖畔天使1 该类别下有 1 个回答。邀请回答 XUE@LIN 该类别下有 1 个回答。邀请回答举报 1落1寞1111 相关推荐 • 薄膜开关连接器的工作原理是什么？ 2748 • smd件元器出现起泡破裂怎么解决 2555 • 有没有人了解晶圆片辐照后的退火过程？ 8859 • 买的传感器上电后就不给退货了 3858 • 如何设计实时系统加速RTA模块？ 1451 • 晶圆级芯片封装有什么优点？ 5232 • 哪些MCU产品以裸片或晶圆的形式提供？ 353 • 了解薄膜电阻或者方阻片的请进 3304 • 请问谁有12英寸晶圆片的外观检测方案吗？ 2693 • 什么晶圆？如何制造单晶的晶圆？ 3899 1个回答