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【作者】:张科营;郭红霞;罗尹虹;何宝平;姚志斌;张凤祁;王园明;
【来源】:《原子能科学技术》2010年02期 【摘要】:采用TCAD工艺模拟工具按照等比例缩小规则构建了从亚微米到超深亚微米级7种不同特征尺寸的MOS晶体管,计算了由这些晶体管组成的静态随机存储器(SRAM)单粒子翻转的临界电荷Qcrit、LET阈值(LETth),建立了LETth与临界电荷之间的解析关系,研究了特征工艺尺寸对CMOS SRAM抗单粒子翻转性能的影响及原因。研究表明:随着特征尺寸的减小,SRAM单元单粒子翻转的临界电荷减小,电荷收集效率由于寄生双极晶体管效应而增加,造成LETth随特征尺寸缩小而迅速减小,CMOS SRAM抗单粒子翻转性能迅速降低。 【关键词】:特征尺寸;;临界电荷;;LET阈值;;单粒子翻转;;CMOS SRAM 【DOI】:CNKI:SUN:YZJS.0.2010-02-019 【正文快照】:随着半导体工艺向深亚微米、超深亚微米方向迅速发展,集成电路的单粒子翻转效应变得更加严重。静态随机存储器(SRAM)是空间应用中广泛采用的存储器件。SRAM单粒子翻转是主要的空间辐射效应之一[1-2]。临界电荷(Qcrit)、LET阈值(LETth)是表征SRAM抗单粒子翻转能力的重要参数,特
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