超音波显微镜(SAT)，原理是藉由超音波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性，来进行分析。利用纯水当介质传递超音波信号，当信号遇到不同材料的接口时，会部分反射、部分穿透，机台就会接收这些信号组成影像。
SAT超音波可用来检测芯片组件内部不同位置的脱层(Delaminaiton)、裂缝(Crack)、气洞及粘着状况，多用于检察芯片封胶内的缺陷。
不同的样品其适用的检测探头不同，iST宜特检测拥有完整的探头组合，从低频15 Mhz至高频110 Mhz及更高阶的UHF(230MHz)超高频探头，可满足不同封装型式的芯片检测。
