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最近在做探测器(PD)的时候遇到一个怪现象,采用N2暗电流和可靠性试验均没问题,采用N2/H2退火暗电流没有问题,可靠性试验过不了,采用纯H2退火,退火后暗电流变大(1.5nA@90%击穿电压),只要重复测试十次以上,或者放置一段时间就会变好,不知道怎么回事,麻烦大虾帮忙分析分析,谢谢!
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