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Solidus MEMS wafer test solution

2015-3-24 13:09:33 3212

0 对于MEMS sensor的测试目前主要集中在FT测试，尤其像惯性类的MEMS sensor。惯性类的sensor如accelorometer，gyroscope都需要外在的激励，如加速度变化，角速度变化去给sensor施加激励以产生信号，而传统的prober无法做到让wafer变化角度和加速等条件。也就不能对wafer进行晶圆级别的测试。实验室级别的sensor测试一般以测算谐振频和计算品质因数为主要参考参数。 Solidus公司推出的Sti3000测试系统可以帮助在wafer级别自动测出谐振频率，以及品质因数等。并且可以测到nA级别的漏电流和pF级别的电容值。 0 response.jpg (14.99 KB, 下载次数: 16)
2015-3-24 13:09:33　　评论淘帖0 举报相关推荐 • Wafer test system 7223 • Switch-Router Test Solution 14 • WAFER激光打标机 (Wafer Laser Marking) 7685 • 什么是test point？test point的作用有哪些？ 4094 • WAFER-150W PH端子1.5 2Pin wafer连接器 0 • TEST 650 • 求filter solution 的使用教程 4915 • wafer 检查资料 11350 • DC_DC Solution 17 • 流片Corner Wafer介绍 2793 1 个讨论