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"电子元件"气体敏感元件
电子元件气体敏感元件,大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后,引起其电学特性(例如电导率)发生变化。流行的定性模型是:原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界势垒模型。 1、电子元件半导体气敏元件的特性参数 (1)电子气敏元件的电阻值 将电阻型气敏元件在常温下洁净空气中的电阻值,称为气敏元件(电阻型)的固有电阻值,表示为Ra。一般其固有电阻值在(103~105)Ω范围。 测定固有电阻值Ra时, 要求必须在洁净空气环境中进行。由于经济地理环境的差异,各地区空气中含有的气体成分差别较大,即使对于同一气敏元件,在温度相同的条件下,在不同地区进行测定,其固有电阻值也都将出现差别。因此,必须在洁净的空气环境中进行测量。 (2)气敏元件的灵敏度 是表征气敏元件对于被测气体的敏感程度的指标。它表示气体敏感元件的电参量(如电阻型气敏元件的电阻值)与被测气体浓度之间的依从关系。表示方法有三种 (a)电阻比灵敏度K (b)气体分离度 RC1—气敏元件在浓度为Cc的被测气体中的阻值: RC2—气敏元件在浓度为C2的被测气体中的阻值。通常,C1>C2 (c)输出电压比灵敏度KV Va:气敏元件在洁净空气中工作时,负载电阻上的电压输出; Vg:气敏元件在规定浓度被测气体中工作时,负载电阻的电压输出 (3)气敏元件的分辨率 表示气敏元件对被测气体的识别(选择)以及对干扰气体的抑制能力。 来源于:上上电子网 http://www.dianzi333.com |
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