摘要 **
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/03/00/wKgaoma55caAQGbwAADwzzvQLo4598.png)
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
仿真任务
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/03/00/wKgaoma55ceAJY60AAI0YwctV9Q452.png)
**连接建模技术:倾斜光栅
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/03/00/wKgaoma55cWAIGdUAAAoqn3c5D8361.png)
可用的微结构建模技术 :
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/02/14/wKgZoma55caAapHLAAC2Ejt3TKo799.png)
光栅阶数分析仪
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/02/14/wKgZoma55ciAUIv5AAPeB8LMR8A982.png)
参数变化分析仪
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/03/00/wKgaoma55ciAQUr8AATQWSgCIpM189.png)
参数优化
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/03/00/wKgaoma55cmAUe4lAAVtvnOk6GU655.png)
优化结果-平均效率
![](//file1.elecfans.com/web2/M00/02/14/wKgZoma55ciARW5kAAL4dVdC2sA288.png)
**优化结果-对比度
**
|