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国内ALD 原子沉积的设备厂商有北方华创和微导纳米。
北方华创是国内半导体设备供应商龙头,提供刻蚀、沉积、扩散,清洗设备,涵盖了IC、光伏、封装等领域,具有大量客户端稳定量产经验。 微导纳米是国内薄膜沉积的新起之秀,与2022年12月23日科创板上市,专注于ALD、PEALD的专注开发,涵盖了IC、光伏、新能源领域。 ALD 设备的话国内会外挂多个腔室,腔室配置数量和需求不同价格区间会比较大,可以留个联系方式详聊 |
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