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高精密、高精细的半导体集成电路产品生产离不开高标准的生产车间，很多半导体集成电路的企业都对自家的半导体无尘车间采用了严格的防控措施，比如在洁净室内设置化学过滤器，来保证整个区域的环境洁净度，或者在半导体车间内中央走道和所有生产走道的四周围设上隔板，使其所在的至少一部分架构空间、洁净空间以及高架地板所在的空间构成独立的洁净微环境结构等。 这些措施确实帮助企业有效保证了半导体车间的洁净度，不过半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，比如无机离子、微生物、气体杂质等等。其中，当颗粒杂质、无机离子等各种物质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、针孔、脱皮等现象，导致电路泄漏和异常电气特性，轻则影响电路性能和使用寿命，重则导致电路报废。相信任何一家企业都很关注无尘车间的洁净度等级管控状况，赛纳威通过十余年的高端设计、开发经验的积累，为大家讲解半导体无尘车间内的空气尘埃颗粒浓度与分布的监测手段，并针对半导无尘车间之可能远程监控方法作详细的说明。 1.集成电路半导体产业发展现状 2014年，我国半导体制造材料市场整体规模为535亿元。2015、2016年市场整体规模分别达到了590亿元、647亿元。据集成电路材料产业技术创新战略联盟秘书长石瑛介绍：国内半导体材料行业总体研发投入相当于同期日本信越一家公司研发投入的22.6%，总体产业发展投入相当于日本信越一家公司资本支出的8.2%，亟待有关方面给予半导体材料产业更多的关注和支持。 宁波举办的2020世界数字经济大会主论坛上，中国科学院院士、上海交通大学副校长毛军发表示，新基建是新经济、“双循环”的核心内容和抓手，其中以集成电路为根、人工智能为本。相信国内的半导体技术与市场终将迎来一场重大突破，中国也能拥有属于自己的半导体家当生态链。 我国要发展半导体不是一朝一夕之事，但开始发展就要大力建造半导体研究基地，其中率先受益的将是高洁净行业：主营业务主要是为电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等电子车间提供洁净室环境自动监测系统的服务，能够为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，并根据不同需要增加或减少控制终端，可实现7*24实时远程自动监测。 2.半导体无尘车间内技术与支持 目前在半导体、集成电路面板等制造行业和领域，很多企业都采用了少人化或者说无人化的生产方式，而且车间内大部分是使用了很多高精密度的仪器设备，其产品的生产过程必须在洁净甚至无尘的环境下进行，只有这样，才能避免空气中的细小颗粒如金属离子、漂浮有机物对设备与元器件造成污染，进而导致产品的可靠性与成品率下降。 不过这样的生产环境要求生产的管理人员必须对生产设备以及车间内的尘埃粒子数量进行远程的操作与管理，减少人员在产线与车间的进出活动，而远程遥测激光尘埃粒子计数器正是智能多点净化检测系统的终端设备，不仅可以同时对多个通道粒径进行采样监控，还可以通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。可以说在半导体无尘车间中，技术含量非常高的远程在线式激光尘埃粒子计数器是必不行少的设备。 3.在线式尘埃粒子计数器的优势 无尘车间是指一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一要求范围内，而所给予特别设计之房间。但随着半导体产品对环境要求的越来越高，尤其是高端半导体产品对腐蚀性气体的含量要求越来越高，现有的洁净厂房洁净技术并不能满足这些高端半导体的生产厂房的洁净要求。 比如半导体无尘车间对玷污源的掌握精度到达了皮肤微颗粒级，尤其是气氛净化度是外界的几百倍，关于气氛温度和湿度也有着刻薄的请求。因此，开发一种能够实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级的激光尘埃粒子计数器及远程监控系统，对于一些高端半导体的生产厂房具有积极的显示意义。 多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统的作用不仅体现在能够轻松地实现实时监控，即时获取车间内微粒数量的数据、检测数据变化，还可以为工厂节省大量人力物力，比如半导体无尘车间内原来需要多名或十几名工人同时进行操作监测同一时刻的尘埃微粒数量变化，现在只需要几名甚至一名即可完成一样的监测任务，这对于生产效率的提升是大有裨益的。 
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