半导体洁净车间微粒在线监测系统集大成者

导读：洁净室（区）是对悬浮粒子及微生物污染规定需要进行环境控制的区域，其建筑结构装置及使用均要求具有减少对洁净区域内污染源的介入、产生和滞留的功能，可能还涉及其他相关参数。另外洁净室也叫洁净车间、无尘车间、净化车间，总之都是指在一定的空间范围内，采用专业的净化设备对该空间空气中的微粒子、细菌、有害空气污染行进行净化排除，达到无尘无菌净化效果。

洁净区作为制药企业的生产场所，对环境、着装、人员流动等有严格的规定和要求，而生物制药、医疗卫生、光电、电子制造、食品日化、航空航天、汽车制造、喷涂等行业为了提高生产水平和生产质量会根据产品要求搭建洁净室，有些企业的洁净室根据产品的要求可能还需对室内的有关温度、湿度、压力等参数按照要求进行控制。

传统尘埃粒子计数器测量方法

洁净区是制药企业生产质量管理的重点管理区域，作为环境高要求的管理区域制约着洁净区生产管理的受控化和可监控化，洁净室内的空气洁净度即指洁净环境区域内单位体积空气中，含大于或等于被考虑的某一粒径悬浮粒子数的统计数量来区分的洁净程度。而尘埃粒子计数器是测量洁净车间单位体积内微粒数和粒径分布的检测仪器，广泛应用洁净室测量其环境洁净度是否满足生产。

微粒子传统测量办法是通过人工进入洁净室采用尘埃粒子计数器进行定时定点进行监测并记录。洁净室内应尽可能的减少人员的进入，减少人员的走动，人员的进入将会导致洁净车间微粒子的增加，微粒子的增加可能造成产品合格率降低，造成产品质量不合格，那么人工监测微粒方式违背了提高产品质量的初衷。

洁净车间微粒在线监测方法

赛纳威专门根据洁净车间制定了一套微粒在线监测系统，可以根据产品要求需要进行远程在线多点监测办法对洁净区域进行微粒子、温度、湿度等环境参数值进行自动监测，并为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，根据不同需要增加或减少控制终端，可实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况，让管理人员及生产人员实时了解生产环境值，大幅度提高净化监测水平和监测质量，是目前净化监测系统自动测量最新技术方案，已专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

洁净室（区）的测试人员应选择与生产操作的空气洁净度级别要求相适应的穿戴方式，外面的衣服不能带进十万级以上的区域。而尘埃粒子在线监测系统（尘埃粒子计在线监测）集成了尘埃粒子计数器（远程粒子计数器）、温湿度监测功能，通过系统软件自动采集被监测环境中的多台监测设备参数值，是记录洁净室（无尘车间）生产线中关键区域尘埃粒子存在的状况，温湿度等参数值的在线监测系统。尘埃粒子的粒径大小与数量分布进行自动的监测并记录，生成报表。当被测区域中的洁净度超出限制时或达到预警值时，系统软件能自动激发声光报警器或主控电脑喇叭响应。

监测系统中测量洁净度的精密仪器由尘埃粒子计数器测量结果进行判别的，是监测系统中的核心部件由自主研发生产，其测量精度和计数效率满足并符合JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》技术规范，采样流量2.83L/分，按照国际通用标准设计，测量速度快、使用寿命长、计数效率高，可测0.3um尘埃粒子。尘埃粒子计数器整机功能采用微电脑控制处理，粒径通道分为六通道、三通道、双通道，满足不同用户需求。

监测系统主要组成清单由尘埃粒子计数器（远程粒子传感器）、主控电脑、监测软件等组成，如需同时监测温湿度值增设温湿度传感器，系统软件是收集分布在不同监测点位上监测数据的，集中控制、显示、分析、储存和打印等多项功能，设计合理，功能实用，易操作，能够运行在Microsoft Windows系统中，能自动测量，具有监测点扩容功能、具有超限，预警，离线报警功能，有良好的实用性。