发帖

【优惠升级】华秋PCB首单最高立减100元，SMT免费贴片！！！

[经验]

微小工艺的芯片，该如何成功完成FIB电路修补?

淘淘发烧友

2020-5-14 16:26:18

9837

0

`

随着摩尔定律，半导体工艺从1微米(um)、0.5微米(um)、0.13微米(um)不断微缩到奈米(nm)等级，如此先进工艺的电路修补，考验FIB实验室的技术发展及应用能力。特别当工艺来到16奈米(nm)以下的工艺，包装型式多数为覆晶技术(Flip Chip)，因此FIB电路修补就必须从芯片背面(简称晶背，Backside)来执行，整体困难度也随之增加。近期宜特检测接到7奈米(nm)的案子，通过多年经验，成功完成此电路修补。

先进工艺，特别是7奈米工艺的金属与介电层的间隙、宽度、厚度，多为40奈米(nm)或以下，面对薄且小的工艺，精准定位目标、清楚辨识电路是很大的挑战，而且电路修补的过程经常是以「秒」来计算，稍一失误将前功尽弃。

该如何精准定位目标呢? 由于从晶背施工，以电子显微镜成像是无法看到线路，需先使用红外线摄影机穿透并依靠四个角落来进行初步定位让GDS对准芯片，再利用一个或多个参考点(reference point)，多次定位以降低误差，通常距离目标点100微米(um)即可定位，不过越远误差就越高；建议选择距离目标点20微米(um)内，约2*2微米(um) 可破坏区域做为定位点，实际误差可降至150奈米(nm)。蚀刻参数与气体的调校、避免过曝金属层。

`

只看该作者 淘帖0 举报

相关推荐

只有小组成员才能发言，加入小组>>

设计与制造封装测试

300个成员聚集在这个小组

精选推荐

芯片设计中的IP技术

10782 浏览 1 评论
u***芯片设计原理图

3702 浏览 2 评论
列数芯片制造所需设备

3783 浏览 1 评论
简述芯片封装技术

3576 浏览 1 评论
详细解读IC芯片生产流程：从设计到制造与封装

7425 浏览 2 评论

最新话题

热门话题

创建小组步骤

创建小组创建自己的地盘
个性设置精心打造小组空间
邀请好友邀请好友加入我的小组
小组升级小组积分升级赢得社区推荐

创建属于自己的小组

快速回复 返回顶部 返回列表

关注微信公众号

电子发烧友网

电子发烧友论坛

社区合作: 刘勇; 联系电话：15994832713; 邮箱地址：liuyong@huaqiu.com

社区管理: elecfans短短; 微信：elecfans_666; 邮箱：users@huaqiu.com

【优惠升级】华秋PCB首单最高立减100元，SMT免费贴片！！！

返回设计与制造封装测试

回复

关闭

站长推荐 /6

快速回复 返回顶部 返回列表

- 技术社区: HarmonyOS技术社区

RISC-V MCU技术社区

FPGA开发者技术社区

- OpenHarmony开源社区: OpenHarmony开源社区

- 嵌入式论坛: ARM技术论坛

STM32/STM8技术论坛

嵌入式技术论坛

单片机/MCU论坛

RISC-V技术论坛

瑞芯微Rockchip开发者社区

FPGA|CPLD|ASIC论坛

DSP论坛

- 电路图及DIY: 电路设计论坛

DIY及创意

电子元器件论坛

专家问答

- 电源技术论坛: 电源技术论坛

无线充电技术

- 综合技术与应用: 机器人论坛

USB论坛

电机控制

模拟技术

音视频技术

综合技术交流

上位机软件（C/Python/Java等）

- 无线通信论坛: WIFI技术

蓝牙技术

天线|RF射频|微波|雷达技术

- EDA设计论坛: PCB设计论坛

DigiPCBA论坛

Protel|AD|DXP论坛

PADS技术论坛

Allegro论坛

multisim论坛

proteus论坛|仿真论坛

KiCad EDA 中文论坛

DFM|可制造性设计论坛

- 测试测量论坛: LabVIEW论坛

Matlab论坛

测试测量技术

传感技术

- 招聘/交友/外包/交易/杂谈: 项目外包

供需及二手交易

工程师杂谈|交友

招聘|求职|工程师职场

- 官方社区: 发烧友官方/活动

华秋商城

华秋电路

time

recommend

hot

post

—
—
—

版
块
导
航