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[转帖]半导体技术

2008-12-30 18:47:30  2310
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品,


美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者,


其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。


1)     Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件


应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。


2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求.


1.多层厚度(1? 到 250 microns)

2.折射率n

3.吸收系数k

4.双折射率

5.能隙(Eg)

6.表面粗糙度和损伤

7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式)

8.薄膜温度特性

9.晶元曲率和薄膜耐压性


技术参数


1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns

2. 重复性:      ± 0°(△) 

3. 折射率精度:  ± 2*10-5

4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选)

5. 入射角:       0°(70°可选)

6. 测试速度:    小于 15 s

7. 光斑直径:    小于 50 nm



应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。



详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下:

电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生

邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com


SCI 网址:http://www.sci-soft.com/

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2008-12-30 18:47:30   评论 分享淘帖
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