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TFT array之制程主要清洗,成膜,而后黄光制板,后再经蚀刻制程形成所要的图样,然后依光罩数而作 循环制程,在这循环制程中要先将洗净的玻璃基板送进溅镀机台镀上一层金属后,再用黄光及蚀刻制程形成闸极,区域图样,隋后玻璃基板经光阻剥离洗净,再以薄膜区电浆辅助化学相沉积机台形成用作主动区域,经过一系列的协作.
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玻璃基板的具体制作流程
玻璃基板的发展趋势
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