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1.双面光刻机PEM-500；
2.步进光刻机NSR1505G6D； 3.涂胶机SCW-629； 4.显影机SDW-629； 5.深槽刻蚀机AMS 200； 6.湿法刻蚀机AMX-2003； 7.刻蚀机PE8330A 9.刻蚀机TE8500 10.刻蚀机A601E 11.刻蚀机E18； 12.去胶机DES-212-304AVLIII 13.红外线测膜仪 FTS-40FIR 14.LP-CVD 15.立式扩散炉 DD-802 16.退火炉 AST2800 17.离子注入机 200ST 如有别的设备，部件需求，也可以联系。 
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