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频率发生器可以产生特定频率的信号激励外部复阻抗。复阻抗的响应信号由片上模数转换器ADC采样后，再通过片上上数字信号处理器进行离散傅立叶变换（DFT）。在每个输出频率，DFT运算处理后都会返回一个实值（R）和虚值（I）。校正后，扫频轨迹上的每个频点的阻抗幅值和阻抗相对相位很容易计算。
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