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XPS/ESCA原理就是藉由光电效应,当X光照射至样品内部时,原子内层的电子将被激发产生光电子,而只有靠近材料表面的光电子才能逃离被仪器测得。藉由分析此光电子,可得知表面元素组成种类,进而判断化学链结。
XPS可进行化学态分析(Chemical State Analysis)、纵深分析(Depth Profile),分析材料表面各种元素分布的化学链结,且不受样品导电性限制。 iST宜特检测可以提供: 表面污染/变色之成份分析(Surface survey) : 样品表面100A以内的成份分析。 表面化学组态分析 (Narrow scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。 样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。 多层薄膜纵深分析 (Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表面,得到不同深度的元素信号之纵深分布。 图谱分析(Mapping) : 分析样品区域元素信号,得到区域元素分布影像图。 线扫描(Line scan): 分析样品直线上的元素信号,得到直线元素分布图。 |
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