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各位大神,请问哪位做过,用n型高阻单晶硅做欧姆接触的实验的?可以详细地讲讲如何实现良好的欧姆接触的吗?比如用了什么金属,需要镀膜吗?退火的时候需要什么样的气体,多少温度,多长时间?还有其他需要注意的条件?小女子在此表示感谢~
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