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光刻胶

2018-7-12 11:57:08 2483

SU-8光刻胶

SU-8光刻胶克服了普通光刻胶采用UV光刻深宽比不足的问题，在近紫外光（365nm-400nm）范围内光吸收度很低，且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形；它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性；在受到紫外辐射后发生交联，是一种化学扩大负性胶，可以形成台阶等结构复杂的图形；在电镀时可以直接作为绝缘体使用。
SU-8光刻胶的优点：
1、SU-8光刻胶在近紫外光(365nm- 400nm)范围内光吸收度很低，且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形；
2、SU-8光刻胶具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性；
3、SU-8在受到紫外辐射后发生交联，是一种化学扩大负性胶，可以形成台阶等结构复杂的图形；
4、SU-8胶不导电，在电镀时可以直接作为绝缘体使用。由于具有较多优点，SU-8 胶正被逐渐应用于 MEMS、芯片封装和微加工等领域。目前，直接采用 SU8光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。在微流控芯片加工中，SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。

运用SU 8光刻胶加工模具浇铸PDMS芯片示意图

SU 8光刻胶光刻前清洗工艺：
为了获得更好的光刻效果，在进行光刻胶旋涂之前，需要对基材进行清洗。常用的清洗方法是利用浓硫酸及双氧水的混合溶液浸泡，随后用去离子水清洗并用氮气吹干。除此之外还可以利用反应离子刻蚀或等离子表面清洗仪清洗。
SU-8光刻胶的光刻工艺将 SU- 8光刻胶组分旋涂在基材上，旋涂厚度几至几百微米。涂覆晶片经过前烘并冷却至室温。在烘干过程中，优先选择加热均匀且温度控制精确的加热板；不能使用鼓风干燥箱，防止因为光刻胶表面优先固化从而阻止内层光刻胶溶剂的挥发。冷却后，将负光掩模与涂覆晶片接触并在汞灯的紫外辐射剂量10-250mJ/㎝²条件下进行曝光。曝光结束后，选择合适的烘烤温度及时间。将晶片在显影液中浸渍显影，随后用氮气吹干。
AZ光刻胶
AZ光刻胶刻蚀厚度从1μm到150μm以及更厚。高感光度,高产出率；高附着性,特别为湿法刻蚀工艺改进；广泛应用于全球半导体行业。
光刻胶产品型号及参数

光刻胶名称	型号	匀胶厚度	规格
Merck AZ 正/负可转换型光刻胶	AZ 5214	0.5-6μm	100ml;500ml;1L;1加仑
AZ 50XT 正胶	AZ 50XT	40-80μm	100ml;500ml;1夸脱
AZ 9260 正胶	AZ 9260	6.2-15μm	100ml;250ml;500ml;1L;1加仑
AZ2020正胶	AZ nl0F2020	>4μm	1加仑
AZ1500正胶	AZ 1500（4.4cp/20cp/38cp）	None	1加仑
AZ9620/AZ4330正胶	AZ 9620/AZ 4330	None	1加仑
MerckAZ1518正胶	AZ 1518	1-4.3μm	1加仑
AZ 4620 正胶	AZ 4620	10-15μm	100ml;500ml;1L;
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2000.5	0.5-0.8μm	100ml;500ml;1L;1加仑
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2002	2-2.9μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2005	5-8μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2007	7-13μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2010	10-20μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2015	13-38μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2025	20-80μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2035	35-120μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2050	40-170μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2075	60-240μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2100	100-260μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 2150	190-650μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 3005	5-10μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 3010	8-15μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 3025	22-60μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 3035	32-80μm	100ml;250ml;500ml;1L
MicroChem SU-8 负胶	SU-8 3050	44-100μm	100ml;250ml;500ml;1L