一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法

2010-5-13 09:04:51 2675

0 针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν=200GHz,Δd≤13.37nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法。该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(SiO2)的高精度厚度检测。实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测。【关键词】：梳状滤波器;;固体腔厚度;;高精度测量;;滤光片设计;;F-P法珀干涉【DOI】：CNKI:SUN:GDGC.0.2010-04-012 【正文快照】：0引言目前国内,DWDM光纤通信中主要采用全介质窄带滤光片,通常需要镀层100~200个膜层来分割单个波长[1-3],镀制如此多的膜层容易造成局部薄膜厚度与密度波动产生的缺陷,以及应力的改变也会大大影响性能。目前基于超窄带梳状滤波器(Interleaver)的研究主要分两个方向,一种是基本全文下载 0
2010-5-13 09:04:51　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 梳状滤波器以及积分梳状滤波器的FPGA实现 5727 • 积分梳状滤波器(CIC)设计 12 • 梳状滤波器的组成 1090 • 梳状滤波器的相关知识 1520 • 梳状滤波器资料下载 1 • 数字梳状滤波器分析 81 • 梳状滤波器的检修 27 • 一种通道数可变的光纤光栅梳状滤波器 2056 • 介绍一种测量MEMS梳状驱动器微电容的方法 1306 • 级联梳状积分滤波器的原理及FPGA实现 31