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我公司目前正在搞一个光电芯片项目，规模不大，但要求用超净厂房（车间），小弟我上网搜了相关内容，但找不到合适的内容，如：超净厂房的设计单位，国内较高知名度的制作安装单位，厂房规范等 如哪位兄弟有，不吝求教 
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加入小组Prolith和HyperLith主要用于mask-in-stepper lithography仿真、光刻设计
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