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给大家推荐一款高精度晶圆边界和凹槽轮廓尺寸测量系统

2014-9-30 15:30:23 12642 晶圆

高精度晶圆边界和凹槽轮廓尺寸测量系统

1.系统外观参考图

(系统整体外观图, 包括FOSB和FOUP自动系统, 洁净室)

2.测量原理

线单元测量的原理是和激光三角测量原理一样，当一束激光以某一角度照射在被测物体表面，由于被测物体表面存在漫射的原因，漫射后的光线可以被CCD相机接收到, 由于物体表面漫射点位置的不同, 通过激光照射点的位置高度不同，所接受散射或反射光线的角度也不同，用CCD相机接收到光斑像的位置，从而计算出被测物体和激光点的距离。当一束光线照射在被测物体的一个面上时候, 旋转被测试的物体或是移动整束激光，即可以测量到被测物体完整的轮廓和外形尺寸.

通过相应的传感器, WATOM系统可以对以下常见的晶圆边界条件进行进行测量, 同时根据设定的条件自动进行判断.

(典型的晶圆边界尺寸测量要求和Notch的尺寸要求, 再次需要说明的是本产品是独一无二的测量技术, WATOM LS系统是目前全世界唯一可以测量Notch凹槽(定位槽)内部尺寸的设备)

3.系统的特点总结

§ 无接触测量

§ 非破坏性测量

§ 零磨损

§ 适用于各种材质晶圆的尺寸测量

§ 极高的测量速度

§ 高精度和重复性, 测量精度可以到1u

§ 非常灵活, 适用于各种尺寸晶圆测量

§ 全世界唯一能够测量Notch内部尺寸的设备.

§ 测量结果自动直观显示, 并可以设定不同尺寸的公差带, 测量结果和公差带有差别时候可以以不同的颜色直接显示提醒出来

§ 不合格判定非常容易, 设定各种边界条件后系统自动报警.

§ 不同用户管理权限和界面, 以防止误操作和参数修改.

§ 基于SEMI M73标准下的晶圆外形计算软件.

§ GEM-SECS 数据接口

§ OCR codereader和Carrier ID reader以方便记录追溯源.

4.系统的基本数据

参数	标准范围或精度	备注
被测量物体的直径	0 到 300mm	更宽的范围可以根据客户要求来调整
被测量物体的高度	0 到 500mm	更宽的范围可以根据客户要求来调整
传感器距离	20-70mm
光学分辨率	1-10um
测量精度	1 um
测量间隔	20ms-40ms
激光单元宽度	8-100 um
使用允许的环境亮度	30,000 Ix
使用环境温度	0-50 °C
EMC电磁兼容	EN50081-1,EN61000-6-1
震动	2g/20 到500 Hz
冲击	15g/6ms
激光防护等级	2(DIN EN60825-1)