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jf_07820275
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  • 赞同了文章 昨天 08:27

    光刻机的分类与原理
    本文主要介绍光刻机的分类与原理。   光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻机包括芯片光刻机和面板光刻机。面板光刻机的工作原理和芯片光刻机相似，但是由于面板光刻机针对的是薄膜晶体管，芯片光...
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