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发布了文章 2025-8-27 11:12

东京电子晶圆清洗设备 CELLESTA SCD现场验机测试精度保障

一、引言 CELLESTA SCD 作为东京电子 CELLESTA 系列中的精密晶圆清洗设备，二手设备的现场验机测试精度直接决定其工艺可靠性评估结果。由于设备核心部件的老化损耗可能导致精度偏移，需通过系统性的精度保障措施，确保各项测试数据的...

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发布了文章 2025-8-23 10:49

东京电子的CELLESTA -i MD 现场验机测试全流程规范

一、引言在半导体制造领域，晶圆清洗设备对保障芯片生产质量至关重要。东京电子的 CELLESTA 系列二手晶圆清洗设备 CELLESTA -i MD 在市场上具有一定份额，其现场验机测试流程的规范性直接影响设备后续使用性能及芯片良品率。本文...

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