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    半导体制造_蚀刻技术
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    激光振镜运动控制器在玻璃激光钻孔上的应用
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    一文看懂asml光刻机工作原理及基本构造
    在半导体芯片制造设备中，投资最大、也是最为关键的是光刻机，光刻机同时也是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。光学光刻技术与其它光刻技术相比，具有生产率高、成本低、易实现高的对准和套刻精度、掩模制作相对简单、工艺条件容...
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    光刻机结构及IC制造工艺工作原理
    光刻机是微电子制造的关键设备，广泛应用于集成电路、平面显示器、LED、MEMS等领域。在集成电路制造中，光刻机被用于制造芯片上的电路图案。...
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    激光隐切工艺详解及其应用举例
    在半导体芯片制造过程中，需要采用切割工艺对晶圆进行划片，然而传统的金刚石切割、砂轮切割会对半导体材料造成较为严重的损伤，导致半导体晶圆碎裂、芯片性能下降等问题，因此开发出先进的切割技术将对集成电路半导体领域的降本增效具有极其重要的意义。随着...
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    看懂光刻机:光刻工艺流程详解
    光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，耗时长、成本高。半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移至硅片上，这一过程通过光刻来实现， 光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。芯片在生产中需要进行 20-30 次...
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    飞秒激光微孔迎来新突破
    导读 航空发动机是航天器的动力来源，对于提升其性能起着决定性作用，高性能发动机必须具备高推重比、低耗油率等特点。随着航空发动机工作温度的提高，镍基合金以其出色的耐高温腐蚀性、抗氧化性、抗蠕变性和强度也成为航空发动机涡轮叶片的首选材料。然而，...
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