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  • 收藏了帖子 2023-7-13 11:01

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    市场 探针台
    涂敷光刻胶 光刻制造过程中,往往需采用20-30道光刻工序,现在技术主要采有紫外线(包括远紫外线)为光源的光刻技术。光刻工序包括翻版图形掩膜制造,硅基片表面光刻胶的涂敷、预烘、曝光、显影、后烘、腐蚀、以及光刻 ...
    来源:电路设计论坛 标签: 芯片
  • 收藏了帖子 2023-7-13 11:00

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    市场 探针台
    芯片制作工艺流程 工艺流程 1) 表面清洗     晶圆表面附着一层大约2um的Al2O3和甘油混合液保护之,在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗。 2) 初次氧化     有热氧化法生成SiO2 缓冲层,用来减小 ...
    来源:电路设计论坛 标签: 芯片
  • 加入了小组 2023-7-13 10:50
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