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jf_88401746
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广西壮族自治区 桂林市 丨 学术研究/学生
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  • 赞同了文章 2023-11-9 19:26

    半导体设备行业跟踪报告：ALD技术进行薄膜沉积工艺优势
    薄膜沉积是晶圆制造的三大核心步骤之- - ，薄膜的技术参数直接影响芯片性能。 半导体器件的不断缩小对薄膜沉积工艺提出了更高要求，而ALD技术凭借沉积薄膜厚度的高度可控性、优异的均匀性和三E维保形性,在半导体先进制程应用领域彰显优势。...
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