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jf_89246731

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回复了帖子 2023-3-7 16:21

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半导体抛光资料

zgaytc
技术总监上海职亦网络科技有限公司

"谢谢分享，学习中"
关注了版块 2023-3-7 16:17

半导体技术天地
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赞同了文章 2023-3-7 15:17

半导体器件制造过程中的清洗技术

在半导体器件的制造过程中，由于需要去除被称为硅晶片的硅衬底上纳米级的异物（颗粒），1/3的制造过程被称为清洗过程。在半导体器件中，通常进行RCA清洁，其中半导体器件以一批25个环（盒）为单位，依次浸入氨水，过氧化氢溶液，盐酸等加热的化学品中...

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