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ferrick

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CTO 上海迈铸半导体公司

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发布了问题 2022-10-21 07:20

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AOE刻蚀系统

ferrick
CTO 上海迈铸半导体公司

AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。 ...

来源：半导体技术天地
关注了版块 2022-10-14 15:17

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