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jf_08560657
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  • 赞同了文章 2022-6-6 11:39

    Silvaco TCAD工艺技术参数及其说明
    •OPTOLITH模块可对成像(imaging)，光刻胶曝光(exposure)，光刻胶烘烤（bake）和光刻胶显影（development）等工艺进行精确定义...
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