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  • 赞同了文章 2021-12-23 09:03

    浅谈MEMS芯片测试中的并行测试
    一什么是MEMS微机电系统（Micro-ElectroMechanicalSystem）是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。受益于普通传感器无法企及的IC硅片加工批量化生产带来的成本...
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