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  • ALD技术是一种将物质以单原子膜的形式逐层镀在基底表面的方法,能够实现纳米量级超薄膜的沉积。...
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  • 设备由MEMS领域应用转化到3D集成技术领域,表现出高对准精度特点。大多数对准、键合工艺都源于微机电系统(MEMS)制造技术,但应用于3D集成的对准精度要比传统MEMS对准精度提高5~10倍,目前设备对准精度已经达到亚微...
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  • 肖特基的硅片上制作孔专利 此后, IBM开始在集成电路领域发力,并在垂直电互连方面取得了突破。...
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  • 第一代半导体指硅(Si)、锗(Ge)等元素半导体材料;第二代半导体指砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等具有较高迁移率的半导体材料...
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  • 22Q4业绩位居收入指引范围内。第4季度,ASML销售额64亿欧元,位于收入指引61-66亿欧元的中值附近,毛利率51.5%高于指引49%,净利润18亿欧元。...
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  • 微缩(即缩小芯片中的微小器件,如晶体管和存储单元)从来都不是容易的事情,但要想让下一代先进逻辑和存储器件成为现实,就需要在原子级的尺度上创造新的结构。当处理这么小的维度时,可以变化的空间微乎其微。...
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  • 可通过去除电容外部杂质硼和氢,减少电容器形成后的热量预算,消除泄漏电流的退化,而不改变电容器的结构或材料。...
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  • 薄沉积的使用可以使抗蚀剂硬化,厚沉积的使用可以缩小临界尺寸(Critical Dimensions:CD)。...
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  • 为了保持数据,DRAM使用电容存储,所以必须隔一段时间刷新(refresh)一次,如果存储单元没有被刷新,存储的信息就会丢失。...
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  • Beyne 说,由此产生的压降让芯片设计师越来越头疼。“电源必须通过意大利面条网络连接到晶体管。由于高压降,晶体管上的 0.7 伏不再是 0.7 伏。电阻太高。...
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  • 在集成电路的早期发展阶段,由于芯片复杂度低,芯片设计人员可以通过手工操作完成电路图、版图的设计等工作。...
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