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    fall on AL PD source?
    quyd
    111119
    `大家好: 有一个困惑：我们在AL ETCH+EKC之后扫描在线defect，发现有块状的AL residue, 怀疑干法etch，但是the defect不是PD and polymer残留，而且AL pattern define 是OK。 一直怀疑湿法EKC清洗之后残留，但是湿法 ...
    来源：Wafer Fabrication[晶圆制造]
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