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首先,静电产生的原因是随处可见的。 在科技飞速发展和工业生产高度自动化的今天,静电在工业生产中的危害已是显而易见的,它可以造成各种障碍,限制自动化水平的提高和影响产品质量。这里结合集成电路封装、生产过程的实际情况来说明之所以有静电的产生,主要有以下几个方面的原因。生产车间建筑装修材料多采用高阻材料 ic生产工艺要求使用洁净车间或超净车间。
要求除尘微粒粒径从以往的0.3μm变到0.1μm拟下,尘粒密度约为353个/m3。为此,除了安装各吸尘设备之外,还要采用无机和有机不发尘材料,以防起尘。但对于建材的电性能没有作为一项指标考虑进去。工业企业洁净厂房设计规范中也未作规定。ic工厂的洁净厂房主要采用的室内装修材料有:聚氨酯弹性地面、尼纶、硬塑料、聚乙烯、塑料壁纸、树脂、木材、白瓷板、瓷漆、石膏等等。 上述材料中,大部分是高分子化合物或绝缘体。例如,有机玻璃体电阻率为1012~1014ωcm,聚乙烯体电阻率为1013~1015ncm,因而导电性能比较差,某种原因产生静电不容易通过它们向大地泄漏,从而造成静电的积聚。 |
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