Keysight B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪

Keysight B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪


B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是用于评测 pA 以下到 10 kV/1500 A 功率器件的一体化解决方案。 具有准确测量 10 µs 脉冲和 µΩ 导通电阻的能力



特点


在各种工作条件下都能执行准确的测量

• 一体化解决方案可以表征高达 1500 A 和 10 kV 的功率器件
  
• 可在高压偏置下进行中档电流测量（例如 1200 V 时为 500 mA）
  
• μΩ 导通电阻测量能力
  
• 在高压偏置下进行准确的皮安级以下电流测量
  
• -50 ℃ 至 +250 ℃ 全自动热测试
  
  

广泛的器件评测功能

• 在高达 3000 V 直流偏置下进行全自动电容（Ciss、Coss、Crss 等）测量
  
• 最短 10 μs 的大功率脉冲测量
  
• 封装器件和晶圆上 IGBT/FET 栅极电荷测量
  
• 用于表征 GaN 电流崩塌效应的高压/大电流快速开关选件
  
• 多达五个高压（3 kV）源表通道，极大地提高灵活性
  
• 通过配有互锁装置的测试夹具进行安全的温度相关测试
  
  

测量效率更高

• 无需重新连接线缆即可在高压测量和大电流测量之间切换
  
• 自动形成测试电路，用于测试封装器件和晶圆上器件的晶体管结电容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）
  
• 标配配有互锁装置的测试夹具，用于安全地测试封装功率器件
  
• 有支持和安全保障的晶圆上大功率测试，电流超过 200 A，电压高达 10 kV
  
• 示波器视图使您可以验证所输入的电压和电流波形
  
• 在 MS Windows 环境中运行的 EasyEXPERT 软件有助于改善数据管理和分析
  
  

可升级和可扩展的硬件体系结构

• 多种测量模块可供选择
  
• 支持多达 6 个引脚的大功率器件
  
  

Keysight B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是一款能够表征皮安级以下到 10 kV / 1500 A 大功率器件的一体化解决方案。 这些功能有助于评测 IGBT 等新器件以及 GaN 和 SiC 等新材料。 B1505A 支持多种模块：高压 SMU（HVSMU）、大电流 SMU（HCSMU）、超高电流（UHC）模块、超高压（UHV）模块和高压中电流（HVMC）模块。 B1505A 还支持大功率 SMU（1 A/200 V）、中功率 SMU（100 mA/100 V）、中电流 SMU（1 A/30 V 脉冲、100 mA/30 V 直流）和多频电容测量单元（1 kHz 至 5 MHz）。 其 10 插槽模块化主机让您能够灵活配置 B1505A，更好地满足测量需求。
它还可以在高压偏置（高达 3000 V）条件下执行 Ciss、Coss 和 Crss 等全自动电容测量，并可以轻松评测栅极电荷，后者是这个高频开关转换器时代的另一个重要参数。 还支持 -50 ℃ 到 +250 ℃ 的自动热表征。

B1505A 软件环境以 Microsoft® Windows® 10 操作系统为基础，允许用户通过曲线追踪仪便捷地检验器件特性和检测器件故障。 B1505A 与传统的曲线追踪仪一样支持旋钮控制可变扫描功能。 这有助于实时评测击穿电压等参数。 它还支持“示波器视图”，该视图可以直观地帮助操作人员优化输入到器件中的电压和电流。 测量设置信息和数据自动保存到 B1505A 的内置硬盘中， 也可以复制到 U 盘和其他便携式存储器上。 测量数据可以通过器件测量结果汇总轻松复制到工程报告中。

稳定可靠的测试夹具解决方案对于确保操作人员的安全（鉴于有可能产生高电压和大电流）以及支持各种类型的功率器件封装非常重要。 以前的传统曲线追踪仪存在一定的局限性——某些功率器件由于尺寸的关系而无法进行评测，有时还需要临时配备适配器才能测试这些器件。 相比之下，B1505A 的测试夹具可以适应各种形状和尺寸的器件，例如功率 MOSFET、二极管、IGBT 等等。 这一功能是通过配有可定制测试夹具模块的大型测试夹具适配器实现的。 此外，测试夹具的内置互锁机制确保能够将高电压和大电流安全地输入给被测器件。

是德科技可以提供转换套件，使用户能够将其现有的 B1500A 主机转换为 B1505A 主机。 这样，当前的 B1500A 用户就能以较低的成本扩展现有仪器的电压和电流测量能力。
模块选型指南

测量资源	所需模块/扩展器	所需插槽	最大配置	主要技术指标
大功率 SMU（HPSMU）	B1510A HPSMU	2	4	高达 200 V，1 A 电力 10 fA 电流测量分辨率
中功率 SMU（MPSMU）	B1511B MPSMU	1	10	高达 100 V，100 mA 电力，10 fA 电流测量分辨率
大电流 SMU（HCSMU）	B1512A HCSMU	2	2	20 A/20 V（脉冲）；1 A/40 V（直流）*1
高压 SMU（HVSMU）	B1513C HVSMU	2	5	1500 V/8 mA；3000 V/4 mA；（脉冲和直流）
中电流 SMU（MCSMU）	B1514A MCSMU	1	6	1 A/30 V（脉冲）；100 mA/30 V（直流）
多频电容测量单元（MFCMU）	B1520A MFCMU	1	1	1 kHz 至 5 MHz。 0 至 ±25 V，使用 MFCMU 内部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高压偏置 T 型接头
高压中电流单元（HVMCU）	N1266A HVSMU 电流扩展器， B1513B HVSMU 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	1	±1500 V/2.5 A（脉冲），±2200 V/1.1 A（脉冲）
超大电流单元（UHCU）	N1265A 超大电流扩展器/夹具 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1	1500 A/60 V（脉冲），22.5 kW 峰值功率， ±500 A/60 V（脉冲），7.5 kW 峰值功率
超高电压单元（UHVU）	N1268A 超高压扩展器 和两个 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 与 B1514A MCSMU 的组合	2 - 3	1	10 kV/10 mA（直流），10 kV/20 mA（脉冲）

*1. 结合使用两个 HCSMU 和双 HCSMU 组合适配器，可将电流范围扩大到 40 A/20 V（脉冲）和 2 A/40 V（直流）。
Microsoft 和 Windows 是微软公司在美国的注册商标。