[问答]

请教碳化硅刻蚀工艺

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问答对人有帮助，内容完整，我也想知道答案 0 最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻蚀过程中总是会在碳化硅表面有一层白色物质，肉眼看上去是发黑，实际用手去触碰，发现是白色粉末。请问这是什么原因导致的？刻蚀前刻蚀后 0
2022-8-31 16:29:50　　评论淘帖0 邀请回答您可以邀请以下用户，快速回答问题 × 张程明该类别下有 41 个回答。邀请回答 ss 该类别下有 21 个回答。邀请回答西西该类别下有 9 个回答。邀请回答诗心动呀吖该类别下有 8 个回答。邀请回答 yu67890111 该类别下有 7 个回答。邀请回答 jf_50240986 该类别下有 6 个回答。邀请回答恬静简朴该类别下有 6 个回答。邀请回答两只耳朵怪该类别下有 5 个回答。邀请回答飞畅科技该类别下有 5 个回答。邀请回答 climats 该类别下有 4 个回答。邀请回答 elecfar 该类别下有 4 个回答。邀请回答京五环以外该类别下有 3 个回答。邀请回答 1515151515 该类别下有 3 个回答。邀请回答 jf_63577400 该类别下有 3 个回答。邀请回答 hisysteeoke 该类别下有 3 个回答。邀请回答 jf_87080254 该类别下有 3 个回答。邀请回答王得发该类别下有 3 个回答。邀请回答一博科技该类别下有 3 个回答。邀请回答王亦杰该类别下有 3 个回答。邀请回答 DerSohn 该类别下有 3 个回答。邀请回答举报 Niec 相关推荐 • 什么是碳化硅（SiC）？它有哪些用途？ 8494 • 碳化硅的历史与应用介绍 4342 • CISSOID碳化硅驱动芯片 3728 • 碳化硅半导体器件有哪些？ 3188 • 碳化硅MOSFET的SCT怎么样？ 1793 • 功率模块中的完整碳化硅性能怎么样？ 8704 • 碳化硅MOSFET开关频率到100Hz为什么波形还变差了 5515 • 碳化硅MOSFET是如何制造的？如何驱动碳化硅场效应管？ 11835 • 碳化硅器件的特点是什么 3252 • 碳化硅器件是如何组成逆变器的？ 2268