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MEMS传感器可分为物理、化学、生物传感器三大类。细分为十大方向:
1.MEMS力学传感器:加速度计、角速度计、惯性测量组合、压力、流量、位移。 2.MEMS力学传感器:电场、电场强度、电流。 3.MEMS磁学传感器:磁通、磁场强度。 4.MEMS热学传感器:温度、热流、热导率。 5.MEMS光学传感器:红外、可见光、激光。 6.MEMS声学传感器:噪声、声表面波、超声波。 7.MEMS气体传感器:可燃性气体、毒性气体、大气污染气体、汽车用。 8.MEMS湿度传感器。9.离子传感器:PH、离子浓度。 9.MEMS生理量传感:生物浓度、触觉。 10.MEMS生化量传感。 MEMS传感器在汽车电子产业和消费电子应用市场两大领域的市场占比达60%以上。 汽车电子产业极大地推动了MEMS传感器的应用,随着社会各界对汽车安全和汽车智慧化发展的要求越来越高。现如今,高档汽车中会有25-40只MEMS传感器,而且,车的档次跟对MEMS的需求数量呈正比关系。其中宝马的一款汽车上有七十多只MEMS。MEMS传感器能够适应恶劣的环境,具有可靠性高、精度准确等优势。其具体应用方向包括安全气囊、电子车身稳定程序、进气歧管绝对压力、电控悬挂、电动手刹、翻滚探测、斜坡起动辅助、胎压监控、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。 消费电子市场主要包括智能手机、平板电脑、笔记本电脑、智能手表、MEMS摄像头等。随着市场对智能手机需求的增加,消费电子领域已经成为MEMS传感器的一大市场之一。MEMS传感器在智能手机的应用方向包括声音、麦克风、场景切换、速度计数、手势识别、GPS定位等,涉及到温度传感器、压力传感器、湿度传感器等的使用。使用手机厂商包括苹果、三星、索尼、HTC等等。 MEMS传感器由4个独立的硅晶片组成,电容器的负极在质量体的上下表面,电容器的正极在上下两个极板。两个极板之间的距离约为10μm,质量体的最大位移误差约在5μm之间。其中C1、C2代表两电容,V1、V2代表施加的电压,F1、F2代表重力。标准惯性质体的上下表面各沉积着一层导电层,固定帽上下表面也有沉积层,由此在标准惯性质体和固定帽之间形成可变电容。 中国是全球最大的电子产品生产国家,汇集全球各大生产代理厂商,目前消耗了全球四分之一的MEMS器件,受到了全球的广泛关注。随着MEMS传感器在行业产品升级换代中扮演者越来越重要的角色,***及行业认识到了MEMS传感器发展的重要性。 与MEMS传感器发展速度相匹配的是,随着PCB行业对基板散热性、微型化、轻便化、使用寿命等提出了更高性能的要求,传统的FR-4及铝基板因为材料本身的原因正被陶瓷基板所替代。目前,陶瓷基板已经有了稳固的市场份额,并在不断扩大,拥有陶瓷基板的MEMS传感器好比换上了更好CPU的电脑。 |
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