[资料]

高低温真空探针台测试系统

2020-3-20 16:17:48 1462

`特点/应用

◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂，移动行程大
◆ 经济实用，可无缝升级

极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

◆ 腔体规格：

型号	CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸	2英寸/4英寸/6英寸
样品固定	弹簧压片
观察窗口	2英寸/4英寸/6英寸
真空度	10-6torr
探针臂接口	4~6个探针臂接口
其他接口	电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式	液氮/液氦/制冷机
温度范围	77K到573K/4.5K到573K
温控精度	0.1K/0.01K/0.001K
稳定性	±1K/±0.1K/±0.01K
外形	880mm长880mm宽600mm高/980mm长980mm宽600mm高
重量	约100千克/120千克

◆ 光学系统：

显微镜类型	单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移动行程	水平360度旋转，Z轴行程50.8mm
光源	外置LED环形光源/同轴光源
CCD	200万像素/500万像素/1200万像素

◆ 探针臂：

X-Y-Z移动行程	50mm50mm50mm
结构	外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度	10微米/1微米
线缆	同轴线/三轴线/射频线
漏电精度	10pA/100fA/10fA
固定探针	弹簧固定/管状固定
接头类型	BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
频率支持	DC-67GHZ
针尖直径	0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米