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MEMS技术涉及到惯***口、流量器件、微型光学器件、各种执行器、微型机电器件性能模拟、各种制造工艺、封装键合、医用器件、实验表征器件、压力传感器、麦克风以及声学器件等领域。并在军事、民用范围内广泛应用。
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MEMS惯性器件、微机械器件
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