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韩国MKP质量流量控制器 韩国MKP质量流量控制器
吴经理 1324.6675.433 /0755-26998458 工作Q:1139878854 地址:深圳市南山区科技园南海大道4050号 MKP致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对MFC系列气体质量流量控制器和气体质量流量计进行了全新的技术改造,在功能和性能上有了进一步的提高。 MKP气体质量流量控制器具有精度高,响应速度快,重复性好,稳定性佳,软启动,工作压力范围宽等特点(可以在高压或者真空条件下工作),其操作使用方便,可任意位置安装调试,并更好的与计算机连接实现自动控制。 MKP流量控制器在石化工业,生化,半导体和集成电路工业,特种材料学科,医疗,蔬果保险,加气饮料,环保和真空等多种领域的科研和生产中有重要的应用。 其典型的场合包括: 电子工艺设备:如:氧化,CVD,扩散,外延,等离子刻蚀,离子注入,溅射,以及微反应装置,混气配合系统,真空镀膜设备,光纤熔炼,气相色谱仪及其他分析仪。 VIC-D210 VIC-D220 VIC-D240 VIC-D245 VIC-D200系列参数: 流量范围:5scc-1.2slm 1.5slm-50slm 50slm-100slm 流量控制器范围:2-100% 0f full scale 准确度: <±1.0% 0f full scale 输出入信号: 模拟型:0-5VDC或者4-20mA, 数字型:RS-485(D-NET可能) 操作温度:5-50°C(推荐温度范围:15-35°C) 预热时间:15分钟(准确度保证:30分钟) 特点: 适用TEFLON DISK材质,全区间响应速度快 对毒性及腐蚀性气体的耐久性大幅度增加 适用浪涌和内电压保护电路 使用周围温度变化也能维持准确度 应用: 在石化工业,生化,半导体和集成电路工业,特种材料学科,医疗,蔬果保险,加气饮料,环保和真空等多种领域的科研和生产中有重要的应用。 |
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