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【作者】:周紫卓;王伟;谈惠祖;孙晓玮;
【来源】:《功能材料与器件学报》2010年01期 【摘要】:本文结合功能材料Al2O3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al2O3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗。本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、Si/BCB和Si/Al2O3/BCB)上制作了CPW结构的传输线,通过仿真、测量、比较和分析其传输损耗特性得出Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构衬底有效地降低了普通硅衬底的高频损耗(20GHz时CPW传输线的损耗为1.18dB/mm),实现了微波毫米波电路低损耗传输线,具有广泛的应用前景。 【关键词】:AlO;;BCB;;CPW;;传输损耗 【DOI】:CNKI:SUN:GNCQ.0.2010-01-013 【正文快照】:0引言随着大规模集成电路的发展,工作频率的不断升高,人们对传输线的要求也越来越高。低损耗、低成本、易连接的传输线成为微波电路主要的研究对象之一。共平面波导(Coplanar Wave-guide,CPW)的信号传输线与地线在同一平面,从而免去了接地需要通孔的麻烦,使其在混合集成电路(HM |
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