新型Al_2O_3/BCB多层薄膜复合介质材料的传输线损耗特性

2010-4-24 09:02:35 1622

0 【作者】：周紫卓;王伟;谈惠祖;孙晓玮; 【来源】：《功能材料与器件学报》2010年01期【摘要】：本文结合功能材料Al2O3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al2O3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗。本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、Si/BCB和Si/Al2O3/BCB)上制作了CPW结构的传输线,通过仿真、测量、比较和分析其传输损耗特性得出Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构衬底有效地降低了普通硅衬底的高频损耗(20GHz时CPW传输线的损耗为1.18dB/mm),实现了微波毫米波电路低损耗传输线,具有广泛的应用前景。【关键词】：AlO;;BCB;;CPW;;传输损耗【DOI】：CNKI:SUN:GNCQ.0.2010-01-013 【正文快照】：0引言随着大规模集成电路的发展,工作频率的不断升高,人们对传输线的要求也越来越高。低损耗、低成本、易连接的传输线成为微波电路主要的研究对象之一。共平面波导(Coplanar Wave-guide,CPW)的信号传输线与地线在同一平面,从而免去了接地需要通孔的麻烦,使其在混合集成电路(HM 全文下载 0
2010-4-24 09:02:35　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 如何量化传输线中的导体损耗和介质损耗呢 7592 • 传输线的损耗原理是什么？ 2301 • 多孔Al2O3薄膜感湿材料的湿敏特性研究 13 • 新型LTCC复合介质材料设计的六条内容 1860 • PCB传输线的损耗情况怎么样 11956 • 新型LTCC复合介质材料设计内容 956 • 电沉积法制备纳米线Cu_Al_2O_3复合材料及其光吸收特性 2 • 从麦克斯韦方程看传输线中的介质损耗 691 • 有损传输线及其特性介绍 1 • 从麦克斯韦方程看传输线中的介质损耗 567