纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究

2010-4-24 09:00:23 3780 铁氧体叠层

0 【作者】：楚合群;陈剑鸣;吴光敏;周莹; 【来源】：《纳米科技》2010年01期【摘要】：设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器(SCFBAF),并在ANSYS11.0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究,实验结果表明,该SCFBAF工作在682.64MHz时带宽约为280kHz,1781.36MHz时约为320kHz,能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器,该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点,将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。【关键词】：纳米晶PZT薄膜;;体声波;;滤波器;;谐振器;;梅森模型【DOI】：CNKI:SUN:NMKE.0.2010-01-007 【正文快照】：1前言随着纳米薄膜技术的发展,如今采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法可以制备出品质满足体声波器件所需择优取向的PZT压电薄膜,通过对其晶向结构和形貌的表征表明,制备的PZT薄膜具有纳米尺度的晶体结构[1][2]。无线通讯技术的进步和用户数量的增加,使系统的工作频率不断提高,信道数目全文下载 0
2010-4-24 09:00:23　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 薄膜体声波滤波器原理与结构 4959 • 叠层共模滤波器 0 • 薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用详细解析 11513 • 叠层片式LTCC低通滤波器的设计与制作 51 • 声表面波（SAW）滤波器和体声波（BAW）滤波器详细介绍 1323 • 有体声波滤波器技术有哪些技术挑战 3 • 885043 高性能体声波（BAW）TX滤波器 14 • 基于CMOS工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器BAW 41278 • PZT薄膜电滞回线测试的数值补偿研究 16 • 射频薄膜体声波谐振器的设计 49 1 个讨论