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【作者】:吕鹏;刘春芳;张潮海;赵永蓬;王骐;贾兴;
【来源】:《强激光与粒子束》2010年02期 【摘要】:描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。 【关键词】:Z箍缩;;放电等离子体;;极紫外光源;;主脉冲;;磁脉冲压缩 【DOI】:CNKI:SUN:QJGY.0.2010-02-039 【正文快照】:极紫外(EUV)光刻技术一直被认为是光学光刻技术之后最有前途的光刻技术之一,国际上对EUV光刻技术已开展了广泛的研究[1-4]。在EUV光刻技术中,EUV光源是其面临的首要技术难题。实现EUV光刻光源的方案主要有3种:已建立的同步辐射源;激光等离子体(LPP)EUV光源;放电等离子体(DPP)EU
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