放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源

2010-4-22 11:41:29 1729

0 【作者】：吕鹏;刘春芳;张潮海;赵永蓬;王骐;贾兴; 【来源】：《强激光与粒子束》2010年02期【摘要】：描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。【关键词】：Z箍缩;;放电等离子体;;极紫外光源;;主脉冲;;磁脉冲压缩【DOI】：CNKI:SUN:QJGY.0.2010-02-039 【正文快照】：极紫外(EUV)光刻技术一直被认为是光学光刻技术之后最有前途的光刻技术之一,国际上对EUV光刻技术已开展了广泛的研究[1-4]。在EUV光刻技术中,EUV光源是其面临的首要技术难题。实现EUV光刻光源的方案主要有3种:已建立的同步辐射源;激光等离子体(LPP)EUV光源;放电等离子体(DPP)EU 游客，如果您要查看本帖隐藏内容请回复 0
2010-4-22 11:41:29　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源 27 • 等离子体应用 3157 • 什么是等离子体 109 • 等离子体光谱仪的原理是什么？ 3320 • 什么是等离子体 23 • 等离子体处理的基本原理与应用 3936 • TDK\|低温等离子体技术的应用 2407 • 等离子体物理基础 0 • 辉光放电等离子体灭菌技术的研究 29 • 纳秒脉冲火花放电等离子体发射光谱特性研究 2